hexafluorure de tungstène (WF6)

Le fluorure de tungstène(VI), également appelé hexafluorure de tungstène, est un composé inorganique de formule WF₆. C'est un gaz toxique, corrosif et incolore, d'une densité d'environ 13 kg/m³ (22 lb/yd³), soit environ 11 fois plus dense que l'air. Il s'agit du seul composé gazeux connu d'un métal de transition (ou métal de transition) et du gaz le plus dense connu dans les conditions ambiantes normales de température et de pression (298 K, 1 atm). L'industrie des semi-conducteurs utilise couramment le WF₆ pour la formation de couches minces de tungstène par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Cette couche est utilisée dans les interconnexions métalliques à faible résistivité. C'est l'un des dix-sept hexafluorures binaires connus.

Le tungstène métallique est apprécié pour sa stabilité thermique et chimique relativement élevée, ainsi que pour sa faible résistivité (5,6 μΩ·cm) et sa très faible électromigration. Le WF₆ est préféré à des composés apparentés, tels que WCl₆ ou WBr₆, en raison de sa pression de vapeur plus élevée, qui permet des vitesses de dépôt supérieures. La pureté requise du WF₆ gazeux est très élevée et varie entre 99,98 % et 99,9995 % selon l'application. Les molécules de WF₆ doivent être dissociées lors du procédé CVD. Cette décomposition est généralement facilitée par le mélange de WF₆ avec de l'hydrogène, du silane, du germane, du diborane, de la phosphine et d'autres gaz hydrogénés apparentés.