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Trifluorométhane (CHF3)
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Contactez-nousCaractéristiques
| Pureté, % | 99,9 | 99,999 |
| Oxygène | ≤80 ppmv | ≤1,0 ppmv |
| Azote | ≤300 ppmv | ≤ 4,0 ppmv |
| dioxyde de carbone | ≤50 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Monoxyde de carbone | ≤30 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Méthane | ≤30 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Autres produits biologiques | ≤400 ppmv | ≤ 2,0 ppmv |
| Eau | ≤10,0 ppmv | ≤ 2,0 ppmv |
| Acidité exprimée en HCl | ≤1,0 ppmv | ≤0,1 ppmv |
Informations techniques
| État du cylindre à 21,1 °C | Liquide |
| Limites d'inflammabilité dans l'air | Ininflammable |
| Température d'auto-allumage (°C) | - |
| Masse moléculaire (g/mol) | 70 |
| Densité relative (air = 1) | 2,436 |
| Température critique ( °C ) | 178,43 |
| Pression critique (psig) | 686.719 |
description
Le trifluorométhane est un gaz incolore et ininflammable. Il est transporté sous forme liquide sous pression. À fortes concentrations, il peut avoir un effet narcotique. En cas d'exposition prolongée au feu ou à la chaleur, les conteneurs peuvent se rompre violemment et être projetés. Il est utilisé comme réfrigérant.
Le trifluorométhane, liquide réfrigéré, se présente sous forme de gaz incolore et inodore. Plus lourd que l'air, il peut irriter les muqueuses par contact et provoquer l'asphyxie par déplacement d'air. Le contact peut également causer des gelures. En cas d'exposition prolongée au feu ou à la chaleur, les récipients peuvent se rompre violemment et être projetés.
Applications
● Le trifluorométhane (CHF3) est utilisé dans la gravure plasma des couches d'oxyde ou de nitrure de silicium.
● Le CHF3 est un fluide frigorigène basse température. Il remplace le chlorodifluorométhane (R22 ou CHF2Cl).
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