01
Octafluorocyclobutane (C4F8)
N'hésitez plus ! Contactez-nous dès maintenant !
Contactez-nousCaractéristiques
| Pureté, % | 99,9 | 99,999 |
| Oxygène | ≤80 ppmv | ≤1,0 ppmv |
| Azote | ≤300 ppmv | ≤3,0 ppmv |
| dioxyde de carbone | ≤50 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Monoxyde de carbone | ≤30 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Méthane | ≤30 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Eau | ≤10 ppmv | ≤3,0 ppmv |
| Autres produits biologiques | ≤600 ppmv | ≤ 5,0 ppmv |
| Acidité exprimée en HCl | ≤1,0 ppmw | ≤0,1 ppmw |
Informations techniques
| État du cylindre à 21,1 °C | Liquide |
| Limites d'inflammabilité dans l'air | Ininflammable |
| Température d'auto-allumage (°C) | - |
| Masse moléculaire (g/mol) | 200,03 |
| Densité relative (air = 1) | 7,33 |
| Température critique ( °C ) | 115,2 |
| Pression critique (psig) |
Description
L'octafluorocyclobutane, ou perfluorocyclobutane (C₄F₈), est un composé organofluoré qui trouve plusieurs applications spécifiques. Gaz incolore, il est transporté sous forme de gaz liquéfié. Il s'agit de l'analogue perfluoré du cyclobutane, où toutes les liaisons C–H sont remplacées par des liaisons C–F.
Dans la production de matériaux et de dispositifs semi-conducteurs, l'octafluorocyclobutane est utilisé comme gaz de dépôt et agent de gravure. Il a également été étudié comme réfrigérant dans des applications spécifiques, en remplacement des chlorofluorocarbures (CFC), substances appauvrissant la couche d'ozone. Grâce à sa volatilité et à son inertie chimique, l'octafluorocyclobutane peut être présent dans certains aliments aérosolisés. Il est répertorié par le Codex Alimentarius sous le numéro 946 (E946 pour l'UE).
Applications
Le perfluorocyclobutane (C4F8) est utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs comme gravure plasma de dioxyde de silicium (SiO2) ou de couches de silicium.
description2