Hexafluoroéthane (C2F6)
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Contactez-nousCaractéristiques
| Pureté, % | 99,9 | 99,999 |
| Oxygène | ≤80 ppmv | ≤1,0 ppmv |
| Azote | ≤300 ppmv | ≤ 4,0 ppmv |
| dioxyde de carbone | ≤50 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Monoxyde de carbone | ≤30 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Méthane | ≤30 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Eau | ≤10 ppmv | ≤1,5 ppmv |
| CF4 | ≤100 ppmv | ≤1,0 ppmv |
| Autres produits biologiques | ≤400 ppmv | ≤ 2,0 ppmv |
| Acidité exprimée en HCl | ≤1,0 ppmw | ≤0,1 ppmw |
Informations techniques
| État du cylindre à 21,1 °C | Liquide |
| Limites d'inflammabilité dans l'air | Ininflammable |
| Température d'auto-allumage (°C) | - |
| Masse moléculaire (g/mol) | 138,01 |
| Densité relative (air = 1) | 4,82 |
| Température critique ( °C ) | 19,65 |
| Pression critique (psig) | 417,5 |
description
L'hexafluoroéthane est le perfluorocarbure de l'éthane. C'est un gaz ininflammable, très peu soluble dans l'eau et légèrement soluble dans le méthanol. C'est un gaz à effet de serre extrêmement puissant et à longue durée de vie. L'hexafluoroéthane est utilisé comme agent de gravure polyvalent dans la fabrication des semi-conducteurs. Il permet la gravure sélective des siliciures et oxydes métalliques par rapport à leurs substrats métalliques, ainsi que la gravure du dioxyde de silicium sur silicium. Associé au trifluorométhane, il entre dans la composition des fluides frigorigènes R508A (61 %) et R508B (54 %). Il est également utilisé comme tamponnade pour faciliter la réapplication de la rétine après une chirurgie vitréorétinienne.
Applications
Gaz isolant et agent de gravure plasma.
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