Hexafluorobutadiène (C4F6)
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Contactez-nousCaractéristiques
| Pureté, % | 99,9 |
| Argon + Oxygène | ≤10 ppmv |
| Azote | ≤40 ppmv |
| dioxyde de carbone | ≤20 ppmv |
| Monoxyde de carbone | ≤7 ppmv |
| Autres halocarbures | ≤700 ppmv |
| Fluorure d'hydrogène | ≤10 ppmv |
Informations techniques
| État du cylindre à 21,1 °C | Liquide |
| Limites d'inflammabilité dans l'air | |
| Température d'auto-allumage (°C) | |
| Masse moléculaire (g/mol) | 162,03 |
| Densité relative (air = 1) | |
| Température critique ( °C ) | 139,6 |
| Pression critique (psig) |
description
L'hexafluorobutadiène (C₄F₆) est un gaz incolore, inodore et non toxique à température ambiante. C'est un diène entièrement fluoré de formule moléculaire C₄F₆, utilisé dans diverses applications industrielles en raison de ses propriétés. L'hexafluorobutadiène est peu soluble dans l'eau du fait de sa nature non polaire, mais présente une certaine solubilité dans les solvants organiques non polaires. Le C₄F₆ possède une conductivité thermique relativement faible, caractéristique des gaz, notamment ceux contenant des atomes lourds comme le fluor. L'hexafluorobutadiène est moins réactif que d'autres hydrocarbures insaturés en raison de la forte électronégativité des atomes de fluor. Cependant, il peut subir des réactions d'addition et polymériser dans certaines conditions.
Le C4F6 est utilisé comme matière première dans la production de divers fluoropolymères, qui trouvent des applications dans les industries chimique, électronique et médicale. Il est également utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour des procédés tels que la gravure plasma. Bien que l'hexafluorobutadiène soit généralement considéré comme non toxique, il peut déplacer l'oxygène de l'air et provoquer une asphyxie en l'absence d'une ventilation adéquate. Il est donc important de manipuler et d'utiliser l'hexafluorobutadiène en respectant les mesures de sécurité appropriées afin de prévenir les incendies et les explosions, notamment en cas de contact avec des sources d'inflammation.
En résumé, les propriétés physiques de l'hexafluorobutadiène, notamment sa densité, ses points de transition de phase, sa solubilité, sa conductivité thermique, sa viscosité et sa réactivité, en font un composé précieux pour l'industrie chimique, notamment pour la production de fluoropolymères et pour certaines applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa manipulation et son utilisation doivent être rigoureusement encadrées afin de garantir la sécurité et de prévenir tout impact environnemental.
Applications
Il s'agit d'un matériau de nouvelle génération indispensable pour minimiser la largeur et la profondeur des pistes de circuits dans les procédés de fabrication de circuits intégrés à grande échelle (LSI). Ce gaz de gravure sèche est utilisé pour la gravure des trous de microcontact. Pour tout gaz spécial de formule CxFy, plus la fraction F/C est faible, plus la quantité de radicaux CF2 générés est importante. La fraction F/C étant plus faible pour C4F6 que pour C2F6 et C3F8, la quantité de radicaux CF2 générés est plus élevée, ce qui permet de graver les couches d'oxyde. Par conséquent, C4F6 présente une sélectivité plus élevée pour les couches d'oxyde et permet une gravure plus homogène.
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