Fluorométhane (CH3F)
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Contactez-nousCaractéristiques
| Pureté, % | 99,99 | 99,995 |
| Oxygène | ≤20 ppbv | ≤5 ppmv |
| Azote | ≤70 ppbv | ≤20 ppmv |
| dioxyde de carbone | ≤10 ppmv | |
| Monoxyde de carbone | ≤10 ppmv | |
| Méthane | ≤5 ppmv | |
| Eau | ≤10 ppbv | ≤2 ppmv |
Informations techniques
| État du cylindre à 21,1 °C | Liquide |
| Limites d'inflammabilité dans l'air | |
| Température d'auto-allumage (°C) | -18 |
| Masse moléculaire (g/mol) | 34,03 |
| Densité relative (air = 1) | 1.18 |
| Température critique ( °C ) | 45 |
| Pression critique (psig) |
Description
Le fluorure de méthyle est un gaz non toxique, liquéfiable et inflammable dans les conditions normales de température et de pression. Le fluorométhane, également connu sous les noms de Fréon 41, Halocarbone-41 et HFC-41, est un gaz non toxique, liquéfiable et inflammable dans les conditions normales de température et de pression. Il est composé de carbone, d'hydrogène et de fluor. Son nom provient du fait qu'il s'agit de méthane (CH₄) dans lequel un atome de fluor remplace un atome d'hydrogène. Il est utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs comme gaz de gravure dans les réacteurs de gravure plasma.
Applications
Dans la fabrication des semi-conducteurs, le fluorure de méthyle (R41) est utilisé dans la gravure plasma des films composés de silicium.
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