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Tétrafluorure de carbone (CF4)
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Contactez-nousCaractéristiques
| Pureté, % | 99,9 | 99,999 |
| Oxygène | ≤100 ppmv | ≤1,0 ppmv |
| Azote | ≤400 ppmv | ≤ 4,0 ppmv |
| dioxyde de carbone | ≤80 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Monoxyde de carbone | ≤50 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Méthane | ≤50 ppmv | ≤0,5 ppmv |
| Autres halocarbures | ≤100 ppmv | ≤ 2,0 ppmv |
| Eau | ≤10 ppmv | ≤ 2,0 ppmv |
| hexafluorure de soufre | ≤15 ppmv | ≤1,0 ppmv |
| Acidité sous forme de HF | ≤1,0 ppmv | ≤0,1 ppmv |
Informations techniques
| État du cylindre à 21,1 °C | Gaz |
| Limites d'inflammabilité dans l'air | Ininflammable |
| Température d'auto-allumage (°C) | - |
| Masse moléculaire (g/mol) | 88,01 |
| Densité relative (air = 1) | 3.04 |
| Température critique ( °C ) | -45,65 |
| Pression critique (psig) | 528.459 |
Description
Le tétrafluorométhane, également connu sous le nom de tétrafluorure de carbone ou R-14, est le perfluorocarbure (CF4) le plus simple. Comme son nom IUPAC l'indique, il s'agit du dérivé perfluoré du méthane, un hydrocarbure. Il peut également être classé parmi les haloalcanes ou halométhanes. Le tétrafluorométhane est un réfrigérant utile, mais aussi un puissant gaz à effet de serre. Sa liaison carbone-fluor lui confère une très grande force. Le tétrafluorure de carbone (CF4), également appelé tétrafluorométhane, est un gaz incolore, inodore et insipide appartenant à la famille des halocarbures. C'est un composé non toxique et chimiquement stable, utilisé dans diverses applications industrielles. Le tétrafluorure de carbone est peu soluble dans l'eau, mais soluble dans les solvants organiques tels que l'éthanol et l'éther.
Le tétrafluorure de carbone (CF4) possède une conductivité thermique relativement faible, caractéristique des gaz contenant des atomes lourds comme le fluor. Sa viscosité est faible, comme celle de nombreux autres gaz, et diminue avec l'augmentation de la température. Chimiquement inerte dans les conditions normales, il ne réagit pas avec la plupart des substances. Cependant, il peut réagir avec des substances très réactives comme les métaux alcalins ou à haute température. Le CF4 est utilisé comme gaz précurseur dans la production de divers fluoropolymères, employés dans la fabrication de produits tels que le Téflon. Il est également utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), permettant la gravure et le dépôt de couches minces sur des plaquettes de silicium. Enfin, le tétrafluorure de carbone est utilisé comme gaz de gravure dans la production de microprocesseurs et autres composants microélectroniques.
Bien que le tétrafluorure de carbone (CF4) soit non toxique, il peut déplacer l'oxygène de l'air et provoquer l'asphyxie en l'absence d'une ventilation adéquate. Puissant gaz à effet de serre, il doit être manipulé avec précaution afin de prévenir tout impact environnemental. En résumé, les propriétés physiques du tétrafluorure de carbone, notamment sa densité, ses points de transition de phase, sa solubilité, sa conductivité thermique, sa viscosité et son inertie chimique, en font un composé précieux pour les industries chimiques et des semi-conducteurs. Son inflammabilité et ses effets potentiels sur la santé soulignent la nécessité d'une manipulation et d'une utilisation sûres dans les procédés industriels.
Applications
L'un des gaz de gravure plasma les plus consommés dans l'industrie microélectronique, également largement utilisé dans le nettoyage de surface des dispositifs électroniques, la fabrication de cellules solaires, la technologie laser, l'isolation en phase gazeuse, la réfrigération à des températures inférieures à zéro, comme agent d'inspection des fuites et comme décontaminant dans la fabrication de circuits imprimés.
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